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合肥芯碁微电子自主研发双台面激光直接成像设备

12月2日，由合肥芯碁微电子装备有限公司自主研发的双台面激光直接成像设备亮相深圳国际会展中心，打破了国外高端激光直写曝光设备的垄断，填补了国内高端集成电路装备产业空白，为国家信息产业和国防安全提供了设备保障。

  • 2021
  • 2015/12/5 9:55:00
 
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